거점소개

거점소개 및 보유장비

반도체 제조공정 테스트베드

• 반도체 제조공정 이송로봇 실증평가 및 검증
• 물류·이송 AI+로봇 홍보관

1. 1 반도체 제조 공정간 이송 로봇 실증장비
2. 2 웨이퍼 세정 공정 반송 로봇 실증장비
3. 3 반도체 공정 통합 관제 시스템
4. 4 반도체 공정 위험물 감시 관리 4족 보행 로봇
5. 5 이송 물류 5G-AMR 검증 장비
6. 6 체험 전시용 웨어러블 슈트
7. 7 실내 물류 이송용 저상형 고중량 AMR

장비별 활용용도

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  반도체 제조 공정간 이송 로봇 실증장비

  • 모바일 매니퓰레이터 운영 및 자율주행 기반 무인운송체계 실증
  • 제동특성 및 장애물 회피 실증 반도체 제조 공정간 웨이퍼 이송
  • 물류 시스템 실증
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  웨이퍼 세정 공정 반송 로봇 실증장비

  • WTR(Wafer Transfer Robot) 성능 실증
  • 로봇을 활용한 웨이퍼 세정 공정 모사 환경 실증
  • 제조현장 로봇 기반 자율제조 생산체계 테스트
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  반도체 공정 디지털 통합 관제시스템

  • 반도체 제조 물류·이송 로봇 공정 통합 관제 시스템 구축
  • 로봇 가상화 응용 시뮬레이션(디지털 트윈) 환경 구축을 통한 데이터 활용 실증
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  반도체 공정 위험물 감시관리 4족 보행 로봇

  • 반도체 제조공정 현장의 위험물 감시관리 체계 실증 및 로봇 제품 신뢰성 실증
  • 유해화학물질 누출 감지, 화재 감시 등 다양한 위험물 감시 관리 테스트
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  이송 물류 5G-AMR 검증 장비

  • 반도체 제조 물류·이송 로봇 공정 통합 관제 시스템 구축
  • 로봇 가상화 응용 시뮬레이션(디지털 트윈) 환경 구축을 통한 데이터 활용 실증
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  체험 전시용 웨어러블 슈트

  • 물류용 웨어러블 슈트를 통해 작업자의 근력 효율 측정 환경 구현
  • 물류용 웨어러블 슈트 활용 예정 작업자 오리엔테이션 및 교육 지원
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  실내 물류 이송용 저상형 고중량 AMR

  • 실내 자율주행 로봇을 활용한 고중량 반도체 물류 이송 지원
  • 장애물 회피 및 정지·이동 성능 실증원